是一种选用高频电场激起气体，使气体电离构成等离子体，运用等离子体发生化学反应进行整理洗刷的设备。其根底原理是，在真空环境下，参加一定量的惰性气体（如氧气、氮气等），然后经过高频电场鼓励气体，使其电离变成等离子体，再经过等离子体与工件外表发生化学反应，到达清洗的意图。这种清洗方法具有高效、快速、环保等长处。

  真空等离子清洗机的整理洗刷作用十分优异。比较于传统的清洗方法，其具有以下长处

  1. 清洗效率高：选用高频电场鼓励等离子体，可在较短的时间内完结清洗使命，清洗效率高。

  2. 清洗完全：因为等离子体可穿透工件外表，因此能清洗到外表的细小孔洞和毛细孔内，清洗完全。

  3. 清洗质量高：等离子体与工件外表发生化学反应，能够铲除外表附着的各种污染物，清洗质量高。

  4. 清洗环保：真空等离子清洗机选用气体清洗，无需运用有机溶剂等化学物质，对环境无污染。

  1. 半导体范畴真空等离子清洗机可用于清洗芯片外表和内部，去除外表和内部的污染物，进步芯片的质量和功能。

  2. 光电子范畴真空等离子清洗机可用于清洗光学元器件外表，去除污染物，进步元器件的透光性和成像质量。

  3. 医疗设备范畴真空等离子清洗机可用于清洗医疗器械等设备，去除污染物，进步设备的卫生安全性。

  真空等离子清洗机是一种高效、快速、环保的整理洗刷设备，具有清洗效率高、清洗完全、清洗质量高、清洗环保等长处。其使用范畴广泛，跟着科学技术的继续不断的开展，真空等离子清洗机的使用远景将会愈加宽广。