近来,上海凯世通半导体股份有限公司向12吋集成电路新客户交给了首台面向CIS(CMOS Image Sensor)的大束流离子注入机。据悉,2024年一季度,凯世通每月向多家重复订单客户发货多台离子注入机设备,仅单季度搬入客户端即有8台离子注入机,展示了加快速度进行开展的微弱气势,完成了一季度开门红。
集成电路工业是电子信息工业的中心,是支撑国家经济社会持续健康开展的战略性、基础性、先导性工业,也是当时我国亟须要点打破的范畴。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜堆积设备被称为芯片制作的“四大中心前道设备”。因为体系杂乱、技能门槛高、工艺成果验证困难等各方面原因,我国在离子注入机环节的国产化率缺乏5%,国产代替商场空间宽广。
凯世通坚持以工业需求和技能立异为牵引,完成了低能大束流离子注入机、超低温离子注入机、高能离子注入机工业化和重复订单。此次霸占技能难度极高的CIS大束流离子注入机进一步标明凯世通在要害中心技能上具有持续自主研制立异的杰出才能,活跃饯别开展新质生产力,推进离子注入机技能打破与产品迭代。
后续凯世通将在离子注入机范畴持续深耕细作、创“芯”晋级,丰厚产品组合,以更优质的产品回馈客户,服务集成电路客户高水平质量的开展。