另一控股子公司凯世通专精于中心前道设备之一的离子注入机设备,二者一起驱动万业企业更快开展。
周伟芳介绍,嘉芯半导体的定位是老练制程设备,现在其旗下有子公司嘉芯迦能、嘉芯闳扬和新产品研制部等,事务掩盖刻蚀、薄膜堆积、快速热处理等多类主制程设备和尾气处理等支撑制程设备,已构成多个半导体前道中心设备产品线,方针掩盖老练制程晶圆厂收购设备金额份额超越50%。嘉芯半导体新研制制作基地总面积达109亩,14万平方米,真实开端发动后成为华东地区重要的集成电路前道设备研制制作基地之一。
除了多产品线,周伟芳着重,嘉芯半导体的别的一大优势是贴合客户,可以交给整线解决方案。“跟着传统晶圆厂以外的更多竞争者进入晶圆制作,怎么把重要的设备组合成产线交给给客户,才是检测设备公司的要害;半导体设备公司不只要有设备的提高,更有零部件、整条产线工艺向上迭代的才能。”
据悉,建立至今,嘉芯半导体已成功取得快速热处理(RTP)设备,氮化硅、侧墙、金属等离子刻蚀机,高密度等离子薄膜堆积设备(HDP-CVD),掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学堆积设备(SACVD),二氧化硅等离子薄膜堆积设备(PECVD),钛/氮化钛堆积设备(MOCVD),铝铜金属溅射设备(Metal Sputter(Al/Ti/TiN)),双焚烧+双水洗尾气处理设备等多类设备订单,累计订单超4.7亿元。
“前道设备的布局正在驱动万业企业加快生长。”谈及万业企业旗下凯世通,周伟芳表明,万业企业旗下凯世通是本乡离子注入机龙头,产品正在快速加大商场掩盖面。凯世通是现在国内很少线nm低能离子注入工艺全掩盖的本乡供货商,并首先完结高能离子注入机产线验证及检验。在很多离子注入机机型中,低能大束流离子注入机是先进逻辑、存储芯片制作的要害中心设备,占到离子注入机细分商场的60%,高能和中束流离子注入机别离各占20%商场占有率。现阶段,凯世通的中心产品——低能大束流离子注入机,在国内大型产线的产能体现现已可以对标世界先进机台,一起公司还在加快推动离子注入机设备的产品迭代与产品线丰厚。
“本乡半导体工业高质量开展进入下半场,半导体规划公司已敞开整合,接下来设备公司也将进入并购重组时间。”周伟芳着重,面临并购商场机会,上市公司应坚持审慎性准则,慎重挑选并购机遇和并购标的。