等离子体和固体、液体或气体相同，是物质的一种状况，也叫做物质的第四态。对气体施加满足的能量使之离化便成为等离子状况。等离子体的活性组分包含：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体外表处理仪是经过运用这些活性组分的性质来处理样品外表，以此来完结清洁、改性、光刻胶灰化等意图。

  等离子体是物质的一种存在状况，一般物质以固态、液态、气态三种状况存在，但在一些特别的状况下有第四种状况存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状况中存在下列物质：处于高速运动状况的电子；处于激活状况的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反响的分子、原子等，但物质在总体上仍坚持电中性状况。

  在真空腔体里，经过射频电源在必定的压力状况下起辉发生高能量的无序的等离子体，经过等离子体炮击被清洗产品外表．以到达清洗意图。

  一、清洗目标经等离子清洗之后是枯燥的，不需要再经枯燥处理即可送往下一道工序。能大大的进步整个工艺流水线的处理功率；

  二、等离子清洗使得用户都能够远离有害溶剂对人体的损伤，一起也防止了湿法清洗中简单洗坏清洗目标的问题；

  三、防止运用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会发生有害污染物，因而这种整理洗刷办法归于环保的绿色整理洗刷办法。这在全球高度重视环保的状况下越发显出它的重要性；

  四、选用无线电波规模的高频发生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它能够深化到物体的微细孔眼和洼陷的内部完结清洗使命，因而不需要过多考虑被清洗物体的形状。并且对这些难清洗部位的整理洗刷作用与氟利昂清洗的作用类似乃至更好；

  五、运用等离子清洗，能够使得清洗功率取得极大的进步。整个清洗工艺流程几分钟内就能够完结，因而具有产率高的特色。

  能够更灵敏地操作，简洁地改动处理气体的品种和处理程序；不会对操作人员的身体形成任何损伤；其本钱关于等离子处理办法来说是微乎其微的。

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