合适各种基片、粉体或颗粒状资料的等离子外表改性处理，包含：等离子清洗、活化、刻蚀、堆积、接枝与聚合等。

  等离子清洗机，英文叫（PlasmaCleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子外表处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子整理洗刷设备。合适各种基片、粉体或颗粒状资料的等离子外表改性处理，包含：等离子清洗、活化、刻蚀、堆积、接枝与聚合等。

  TS系列低温等离子外表处理设备-低压(真空)等离子清洗机由真空腔体及高频等离子电源、抽真空体系、充气体系、自动操控体系等部分所组成。作业基本原理是在真空状态下，等离子效果在操控和定性办法下能够电离气体,运用真空泵将作业室进行抽线mbar的真空度，再在高频发生器效果下，将气体进行电离，构成等离子体（物质第四态）。高频发生器供给能量使气体电离成等离子态。等离子态明显的特点是高均匀性辉光放电，依据不同气体宣布从蓝色到深紫色的颜色可见光，资料处理温度挨近室温。这些高度活泼微粒子和处理的外表发生效果，得到了外表亲水性、拒水性、低冲突、高度清洁、激活、蚀刻等各种外表改性。

  真空等离子清洗机整个清洗进程大致如下：1）被清洗的工件送入真空式并加以固定，发动运转设备，开端排气，使线Pa左右的规范真空度。一般排气时刻大约需求几分钟。2）向真空室内引进等离子清洗用的气体，并坚持腔内压强安稳。依据清洗原料的不同，可分别运用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内的电极与接地设备之间施加高频电压，使气体被击穿，并经过辉光放电而发生等离子化和发生等离子体，让在真空室发生的等离子体*笼罩住被处理工件，开端清洗作业，一般清洗处理继续几十秒到几十分钟不等。4）清洗结束后断电，并经过真空泵将气体和气化的尘垢抽走排出。

  1.环保技能：等离子体效果进程是气-固相干式反响,不用耗水资源、不需求增加化学药剂,对环境无污染。

  2.广适性：不分处理目标的基材类型,均可做处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子资料都能很好地处理；

  3.温度低：挨近常温，特别适于高分子资料，比电晕和火焰办法有较长保存时刻和较高外表张力。

  4.功用强：仅触及高分子资料浅外表（10-1000A），可在坚持资料本身特性的一起，赋予其一种或多种新的功用；

  5.低成本：设备简略，易操作修理，可接连运转，往往几瓶气体就能替代数千公斤清洗液,因而清洗成本会大大低于湿法清洗。

  等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和外表改性等场合。经过其处理，能够改进资料外表的潮湿才能，使多种资料能够有用的进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，一起去除有机污染物、油污或油脂。

  真空等离子清洗机大技能特点是：它不分处理目标，可处理不同的基材，无论是金属、半导体、氧化物仍是高分子资料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理，因而，很合适不耐热和不耐溶剂的基底资料。并且还能够有挑选地对资料的全体、部分或杂乱结构能够进行部分清洗。