IT之家6 月 13 日音讯 从中微公司得悉，6 月 9 日，中微半导体设备（上海）股份有限公司在上海总部举行电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备 Primo nanova 第 100 台反响腔交给客户庆祝典礼。

  IT之家了解到，Primo nanova 是中微公司于 2018 年发布的第一代电感耦合等离子体刻蚀设备，采用了中微公司的电感耦合等离子体刻蚀技能。

  中微公司表明，现在，Primo nanova 产品已成功进入海内外十余家客户的晶圆出产线，在逻辑芯片、DRAM 和 3D NAND 厂商的出产线上完成大规模量产。

  广告声明：文内含有的对外跳转链接（包括不限于超链接、二维码、口令等方式），用于传递更加多信息，节约甄选时刻，成果仅供参考，IT之家一切文章均包括本声明。