等离子体通常称作物质的第四种状态，前三种状态是固体，液体、气体，它们是很常见的，存在于我们周围。

  当气体到达等离子状态时，气态分子会裂变成许多高度活跃的粒子。等离子清洗的机理正是靠着处于“等离子态”的物质的“活化作用”，达到去除物体表面污渍或改善表面活性的目的。

  从图1中能够准确的看出，真空等离子清洗机主要由真空腔体、高频等离子电源、真空产生及测量系统、工艺气体系统、控制管理系统等部分所组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空到一定的真空度后，通入工艺气体，在高频发生器作用下，在阳极和阴极之间形成高频交变电场(常用频率有2种，即:40kHz、13.56MHz)，将气体进行电离，形成等离子体。

  等离子清洗机真空腔极板的设置具有很强的灵活性，腔体的每个电极都可以按需配置。将极板后面的连接头分别连接到阳极座，阴极座或空置，可以将极板分别配置成阳极，阴极或悬浮极，且各个极板间的距离能够准确的通过工件大小和功率需要任意调节，能满足多种清洗需求。

  等离子清洗机极板配置根据被处理样品放置在极板上位置不同，共有3种清洗模式。因此真空等离子清洗机不同极板上清理洗涤效果也不一样。下面将详细的介绍真空等离子清洗机不同极板的清洗模式。

  将样品放置于悬浮极上，此时清洗速度最慢，同时因为未在任何电极板上，故对元器件的损伤也最小，适用于对易受电子损伤的敏感器件的清洗。

  它的极板排列如图2所示，从上到下分别为阳极-悬浮极-阴极-阳极-悬浮极-阴极，3个极板为一组.

  J将样品放置于阴极上，此时清洗速度较快，同时因为未在阴极板上，阴极板实际上直接接地，相对电位较低，故对元器件的损伤也较小，适用于不易受电子损伤的器件进行较强的清洗。

  该极板排列如图3所示，从上到下分别为阳极一阴极一阳极一阴极，2个极板为1组。

  将样品放置于阳极上，此时清洗速度最快，是最具侵蚀性的加工工艺，因为样品是直接置于阳极上，故对敏感元器件的损伤可能性最大，适用于对非敏感器件高强度的清洗。

  该极板排列如图4所示，从上到下分别为阴极-阳极-阴极-阳极，2个极板为1组。

  在实际应用中，等离子清洗机应该要依据不同的清洗需求来调节极板的功能及间距，同时调整气体种类及流量、腔体压力、射频功率及时间等，以达到最佳清洗效果。

  NE-PE60系列的设备一般用的都是第三种模式，阳极模式。既不会对器件造成损毁，又有较好的清洗效果。

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