集微网音讯，近来，上海励兆科技宣告完结数千万元Pre-A轮融资，Monolith砺思本钱、中芯聚源、临港科创投参加本轮出资。

  励兆科技建立于2022年，是一家专心于半导体工艺设备范畴的射频和等离子体系供货商。该公司首席科学家是上海交大副教授/博导，曾在美国尖端学府从事高频电力电子的研讨；副总裁宋伟结业于北航，是前爱思强我国区总经理。

  据悉，励兆科技的根本的产品是等离子射频电源及其配套体系和长途等离子源(RPS)体系，而这一些产品的根本效果就是在相关半导体工艺设备中发生等离子体并达到相关各种工艺。

  据悉，射频电源是发生等离子体的中心器材，高性能的大功率射频电源是国产化先进制程的必要设备。

  Monolith砺思本钱音讯显现，励兆科技建立一年便开发出了13.56MHz系列和400KHz系列射频电源产品，部分要害性能参数已达到世界领先水平，比方功率可调精度在0.1瓦，脉冲频率从2Hz到50KHz，占空比1%-99%，合作独有MOFT调频功用 (模型导向的主动调频技能)，能完成亚毫秒量级的高速阻抗匹配，能够轻松又有效地满意多种工艺的需求，在国内首先为先进蚀刻和原子层堆积等工艺供给了可选计划。

  在长途等离子源(RPS)范畴，励兆科技正在开发一款可用于12寸晶圆去胶/氧化/清洁等工艺范畴的产品，估计在年末可为要害客户送样测验。