产品介绍

  中国在半导体产业链中的很多核心技术和产品还依赖国外进口，其中在该产业起到关键作用的等离子体清理洗涤设施，不仅受到国外垄断，其大尺寸设备更是对内地禁售。来自中国科学院合肥物质科学研究院的海归博士后彭姣，看好内地清洗设备未来市场发展的潜力，带领研究院多位博士组建科岛科林团队，自2021年开始对该设备做国产化研发。目前，团队已实现4款等离子体清理洗涤设施的研发，产品国产化率达到100%，在大尺寸长寿命等离子体清理洗涤设施方面，更率先实现了国内技术突破，打破了国外垄断。

  在位于合肥市蜀山区的中国蜀山科里科气科创驿站─科学岛站，记者见到了彭姣及其小组成员。就在不久前，该团队刚刚完成了合伙公司的注册。对于从事物理研究十余年的彭姣来说，创办团队并创业，是她之前从未想过的事。而当团队自主研发的等离子体清理洗涤设施在多个高校实验室及企业中成功试用，帮他们解决因国外设备垄断带来的诸多困难时，彭姣认识到，将自己的技术转化成市场急需的产品，是多年科研积累的很好选择，亦是团队创业的最好机遇。

  彭姣第一次接触到等离子体，是在大学时期一位老师的实验室里，那台由等离子体辅助制作薄膜沉积的设备，一下子吸引了她。读研究生时，她报考了国内为数不多的专注等离子体领域研究的中科院合肥物质科学研究院，主攻高温等离子体聚变方向，即“人造小太阳”托卡马克装置的研究。

  在一次对研究材料表面的处理过程中，彭姣进一步了解到低温等离子体在清洁领域的应用。“我对这样的领域很感兴趣，2016年在一次国际学术会议中，了解到德国一位导师有相关研究课题时，我就主动申请去做研究。”在德国，彭姣发现低温等离子体清理洗涤设施已经应用到汽车、玻璃、材料等很多领域，这些设备在全球都形成垄断地位。为了进一步学习，她于2018年又第二次申请到德国，并获得了德国最大的科研机构亥姆霍兹联合会奖学金并从事相关博士后课题研究。

  由于科研实验室相比商业应用的高要求，即便是德国高端的等离子体清理洗涤设施，很多时候也不足以满足彭姣在实验室的需求。“例如现成设备只能处理平面的工件，对曲面以及特别的材料的工件解决能力就不行。”彭姣开始尝试对设备做技术升级，她通过请教德国研究所另一个专做光学材料研究的同学，结合他们的研究技术解决了这样的一个问题。不仅如此，她还通过研发，为设备做了包括提高功率、改进电路结构等很多功能的改进。

  彼时，彭姣对于等离子体清理洗涤设施的改进研发主要出于完成实验课题的需求，她并不清楚自己掌握的技术对国内相关产业起到多大的作用。是她的同学、同时也是长期在半导体领域创业的博士黄英杰，在与她沟通时告诉她等离子体清理洗涤设施在国内的未来市场发展的潜力和技术空白等情况，并希望邀请她一同创业。

  彭姣说，其实早在德国期间，她就切身感受到各国对自己核心研发技术的保护。她曾帮同学联系购买一台德国的滤波片仪器，对方得知是中国的研究所要买，不仅报价从原来的几十欧元变为几千欧元，更表示这款仪器只能在德国使用，而她所认识的几位中国学生也遇到无法参加核心技术探讨研究课程等情况。

  2021年初，彭姣回国，她进一步探索了等离子体清理洗涤设施在内地的未来市场发展的潜力。在半导体产业中，仅晶圆制作的步骤，清洗步骤就占整个工序的30%以上。而国产设备还停留在仿制国外产品的初级阶段，常规使用的寿命短、清洗面积小、效果不稳定，目前内地半导体厂家主要从国外进口。“未来市场发展的潜力是很好的，所以最终我还是选了创业。”她说。

  她介绍，现在团队研发的设备性能能够达到德国同类设备80%至90%的水平，同时通过材料的研发也使得设备的寿命对标国外产品，达到两年以上。而在设备价格上，相比德国一台清理洗涤设施30万元(人民币，下同)左右的价格，团队研发的同类设备仅约15万至20万元。

  彭姣表示，小组成员对此次创业很有信心。目前团队已经攻克了大尺寸直喷式、旋喷式等离子体清洗机在多通道放电、电极旋转带来的动平衡和动密封等多项难题。“下一步，我们计划实现大于20cm的等离子体清理洗涤设施处理尺寸，满足市场对大尺寸的迫切需求。”

  党的二十大报告中提到加快实施创新驱动发展的策略，特别是提到以国家战略需求为导向，集聚力量进行原创性引领性科技攻关，坚决打赢关键核心技术攻坚战等内容，作为科研人员的彭姣，备受鼓舞。

  虽然彭姣团队的成员全部是科研人员出身，但是对于这次创业，他们却有着非常大的底气和信心。因为从资金、办公场地、公司架构设置、人事运营等每个方面，合肥市蜀山区都给予了“保姆式”的扶持与帮助，解决了科研团队创业的后顾之忧。

  目前团队所在的科里科气科创驿站科学岛站是一个孵化平台，团队在这里可以不要钱获得办公场地。“办公地大概100 平方米，我们大家可以免费使用3年，同时，工作人员也在帮我们沟通厂房问题，届时也会有政府补贴。”此外，针对具备科研成果的创业团队，合肥市政府和蜀山区政府都有配套的创业基金支持。彭姣团队已经获得合肥市200 万元的创业基金。“这笔创业基金基本解决了我们初期的各项资金需求，今年团队还先后参加了安徽省、市、区的三个创业类大赛，都取得了不错的成绩，比赛奖金共计70多万元。”彭姣介绍说。

  而扶持创业的有关部门针对团队后续发展规划的帮助亦让团队受益匪浅。“尤其是公司架构方面，专业技术人员依照我们团队的发展状况给出建议，例如如何通过成立合伙公司和主体公司等形式，既保证了后续公司人员的扩张，又保护了原始创业团队的核心利益。”彭姣介绍，除此之外，当地政府有关部门还帮助团队进行销售资源的嫁接。“合肥市重点发展的芯片、新型显示、集成电路等产业都是我们的潜在客户，目前在政府的牵线搭桥下，团队已经与相关锂电池、存储器制造等企业建立了联系，企业已将我们的样机拿回去试用，反馈好的话，后续就可以直接进行国产化替代。”