产品介绍

  1 .中频宽幅线性大气等离子清洗机，包括腔体(3) ，其特征是：所述腔体(3)的内部设 置有正电极(4) ，所述正电极(4)的一端设置有中频信号发生器(2) ，所述中频信号发生器 (2)位于腔体(3)的外侧，所述腔体(3)的外侧对称贯穿有与中频信号发生器(2)电性连接的 负电极(6) ，且所述腔体(3)的一侧设置有工艺气体罐(1) ，工件(7)位于负电极(6)的正下 方。

  实用新型内容 [0003] 本实用新型的目的是提供中频宽幅线性大气等离子清洗机，以解决上述背景技 术中提出目前现有的中频宽幅线性大气等离子清洗机出现的中频电源技术不成熟，采用干 式变压器，工艺气体浪费等问题。 [0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：中频宽幅线性大气等离子清洗 机 ，包括腔体 ，所述腔体的内部设置有正电 极 ，所述正电 极的 一端设置有中频信号发生器 ， 所述中频信号发生器位于腔体的外侧，所述腔体的外侧对称贯穿有与中频信号发生器电性 连接的负电极，且所述腔体的一侧设置有工艺气体罐，工件位于负电极的正下方。 [0005] 优选的，所述正电极的外侧设置有护套，所述护套位于腔体的内部。 [0006] 优选的，所述中频信号发生器的一端连接有电源。 [0007] 优选的，所述工艺气体罐与腔体之间通过通气管连接，所述通气管的管道上设置 有压力表。 [0008] 优选的，所述负电极与腔体之间通过胶粘固定。 [0009] 与现存技术相比 ，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用一款采用新型中频 电源技术，结合独特的油浸式变压器和低温处理方案。输出功率范围在0-4 .5KW，保证功率 持续输出稳定性强，处理效果好。采用独特的油浸式变压器，电压可达15KV，过载能力出众。 具有非常出色的冷却和绝缘效果，可通过内部循环散热，避免温度过高导致的烧坏电源等故障。 处理温度能达到 60℃以下，确保对样品表面不造成热影响，极大的提高了电极使用寿 命 ，可以 满足生产长时间持续工作的需求。用气量减少40％ ，降 低生产成本 ，使 用及维护非 常便捷。

  附图说明 [0010] 图1为本实用新型的结构示意图； [0011] 图中：1、工艺气体罐；2、中频信号发生器；3、腔体；4、正电极；5、护套；6、负电极；7、 工件。

  具体实施方式 [0012] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚 、完整地描述 ，显然 ，所描述的实施例仅仅是本实 用新型一部分实施例 ，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 [0013] 请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：中频宽幅线性大气等离子清洗机，包 括腔体3，所述腔体3的内部设置有正电极4，所述正电极4的一端设置有中频信号发生器2， 所述中频信号发生器2位于腔体3的外侧，所述腔体3的外侧对称贯穿有与中频信号发生器2 电性连接的负电极6，且所述腔体 3的一侧设置有工艺气体罐1，工件7位于负电极6的正下 方。 [0014] 所述正电极4的外侧设置有护套5，所述护套5位于腔体3的内部，所述中频信号发 生器2的一端连接有电源，所述工艺气体罐1与腔体3之间通过通气管连接，所述通气管的管 道上设置有压力表，所述负电极6与腔体3之间通过胶粘固定。 [0015] 需要说明的是，本实用新型为中频宽幅线性大气等离子清洗机，如： [0016] 图1为本实用新型的结构示意图。本实用新型在使用时，启动电源，通过中频信号 发生器2，让正电极4和负电极6通电 ，打开工艺气体罐1的阀门，让工艺气体进入腔体3的内 部，工艺气体在正电极4和负电极6产生放电反应，产生的等离子体可均匀的清洗工件7。 [0017] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言， 可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修 改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

  (73)专利权人 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 地址 523000 广东省东莞市长安镇乌沙社 区振伟路6号二楼

  (74)专利代理机构 东莞市神州众达专利商标事 务所Байду номын сангаас普通合伙) 44251

  5 .根据权利要求1所述的中频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征在于：所述负电极 (6)与腔体(3)之间通过胶粘固定。

  技术领域 [0001] 本实用新型属于等离子清洗机技术领域，具体涉及中频宽幅线性大气等离子清洗 机。

  背景技术 [0002] 目前，市面上的中频宽幅线性大气等离子清洗机都会出现以下问题，中频电源技 术不成熟，采用干式变压器，工艺气体浪费。中频电源技术不成熟会导致功率持续输出稳定 性差 ，且输出功率 低 ，一般 只可达到3KW。使 用干式 变压器 ，容量 和电 压都受 到了极大的限 制 ，电 压一般只能达到10KV ，冷 却和绝缘的效果也比 较差 ，无法通过内部循环进行散热 ，容 易导致热量堆积 ，温度过高 ，产生烧坏电 源等问 题。而在长时间的持续工作下 ，电 极容易出 现温度过高 ，使 用寿命急剧缩短 ，无形中 增大了生产成本。现市面上的中频宽幅线性大气等 离子清洗机用气量大，用气量普遍在800L/MIN，极大的造成工艺气体的浪费。为此我们提出 中频宽幅线性大气等离子清洗机。

  子清洗机 ，包括腔体 ，所述腔体的内部设置有正 电 极 ，所述正电 极的一端设置有中频信号发生 器 ，所述中频 信号发生器位于腔体的 外 侧 ，所述 腔体的 外 侧对称贯穿 有 与中 频 信号发生器电 性 连接的负电极，且所述腔体的一侧设置有工艺气 体罐。本实 用新型采 用独特的 油浸式变压器 ，电 压可达15KV ，过载能 力出众。具有出色的 冷 却和 绝缘效果 ，可通过内部循环散热 ，避免温 度过高 导致的烧坏电源等故障。处理温度能够达到60℃ 以 下 ，确保对样品表面不造成热影响 ，极大的 提 高了电极常规使用的寿命，能够完全满足生产长时间持续工 作的需求。用气量减少40％ ，降 低生产所带来的成本 ，使 用 及维护非常便捷。

  2 .根据权利要求1所述的中频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征是：所述正电极 (4)的外侧设置有护套(5) ，所述护套(5)位于腔体(3)的内部。

  3 .根据权利要求1所述的中频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征是：所述中频信号 发生器(2)的一端连接有电源。

  4 .根据权利要求1所述的中频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征是：所述工艺气体 罐(1)与腔体(3)之间通过通气管连接，所述通气管的管道上设置有压力表。