产品介绍

  技术领域 [0001] 本实用新型涉及半导体加工制造技术领域，具体涉及一种等离子清洗机的清洗腔 体结构。

  背景技术 [0002] 引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实 现芯片内部电 路 引出端与外 引线的电 气连接 ，形成电 气回路的关键结构件 ，它起到了和外 部导线连接的 桥梁作 用，绝大部分的 半导体集成块中都需要使 用引线框架 ，是电 子信息产 业中重要的基础材料。在半导体制造加工过程中会在引线框架上遗留溢胶、氧化物等污染 物，影响焊线效果，因此需要等离子清洗机清洗该污染物。 [0003] 等离子清洗设备的原理是通过电场作用(也就是射频)将气体原子电离成正离子 和电子，正离子在电场作用下向阴极方向加速运动，去轰击引线框架表面光刻胶，达到去胶 清洗效果。 [0004] 等离子清洗机的清洗腔体一般包括盖合的腔体下盖和腔体上盖，清洗腔体内设置 有电 极板 ，电 极板为阳极 ，腔体为阴极 ，清洗的 引线框架置于电 极板上 ，引线框架的 清洗主 要是通过阳极电 极板与阴极腔体上盖之间 产生的电 场来对 引线框架进行清洗 ，然而 ，现有 等离子清洗机的电 极下方为镂空设计 ，电 极与腔体下盖之间没有阻 隔 ，电 极与腔体下之间 会产生无用的电场，因而需要用较大功率的射频电源，才能满足清洗的效率，射频电源过 大，会导致清洗时材料温度过高，射频电源的寿命短。

  1 .一种等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，包括： 腔体下盖 ，所述下盖腔体的 底部设有第一玻 璃板 ，所述 第一玻 璃板的四 个 角设置有绝 缘座，所述绝缘座的上侧设有第二玻璃板，所述第二玻璃板的四个角支撑于所述绝缘座上； 电 极框架 ，所述电 极框架安装于所述 第二玻璃板上 ，电 极框架通过导线与射频电 源的 阳极相连； 腔体上盖 ，所述腔体上盖盖合在所述腔体下盖上 ，腔体上盖与腔体下盖之间形成 密封 腔体； 以及驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述腔体上盖与腔体下盖打开或盖合。 2 .依据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，还包括陶瓷管， 所述第一玻璃板上设有第一通孔 ，第二玻璃板上设有第二通孔 ，所述陶瓷管穿插于第一通 孔和第二通孔内，所述导线经陶瓷管穿入密封腔体。 3 .依据权利要求2所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述第一玻璃板 和第二玻璃板之间设置有第三玻璃板，所述第三玻璃板分别与第一玻璃板和第二玻璃板贴 合，第三玻璃板上设有第三通孔，所述陶瓷管穿过第三通孔。 4 .依据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述腔体下盖后 部的 下部连接有挡板 ，所述驱 动机构包括至 少一个 伸缩推杆 ，所述 伸缩推杆的 下端固定于 所述挡板的外侧，伸缩推杆的上端固定连接于所述腔体上盖的后部。 5 .依据权利要求4所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述伸缩推杆的 上端固定连接有上盖安装座 ，所述腔体上盖转动安装于所述上盖安装座 ，上盖安装座上设 置有用于将腔体上盖与上盖安装座锁死的锁定机构。 6 .依据权利要求5所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述腔体上盖后 部的 两 侧分 别设置有连接板 ，所述连接板的 后端转动连接于上盖安装座 ，所述锁定机构包 括锁定片和锁销 ，所述锁定片贴近连接板并固定于所述上盖安装座上 ，所述锁销可穿过连 接板和锁定片，用以将腔体上盖与上盖安装座锁死。 7 .依据权利要求5或6所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述腔体上 盖的前侧设置有把手。 8 .依据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述腔体上盖的 前侧设置有透明观察口。 9 .依据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述腔体下盖周 围的上侧设置有O型密封圈，腔体下盖与腔体上盖之间通过所述O型密封圈密封。 10 .根据权利要求1所述的等离子清洗机的清洗腔体结构，其特征是，所述电极框架 包括固定框架和轨道框架 ，所述固定框架固定安装于所述第二玻璃板上 ，所述轨道框架通 过螺丝固定于所述固定框架上。

  洗腔体结构 ，包括 ：腔体下盖 、电 极框架 、腔体上 盖和驱动机构；所述下盖腔体的底部设有第一玻 璃板 ，所述第一玻璃板的四 个 角设置有绝缘座 ， 所述绝缘座的上侧设有第二玻璃板，所述第二玻 璃板的四个 角支撑于所述绝缘座上 ；所述电 极框 架安装于所述第二玻璃板上，电极框架通过导线 与射频电 源的阳极相连 ；所述腔体上盖盖合在所 述腔体下盖上，腔体上盖与腔体下盖之间形成密 封腔体；所述驱动机构用于驱动所述腔体上盖与 腔体下盖打开或盖合。本实用新型在相同的清洗 时间下 ，使 用的 射频电 源的 功率更小 ，清洗时材 料的温度更低，射频电源的寿命更长。

  实用新型内容 [0005] 针对现存技术中的缺陷，本实用新型提供了一种等离子清洗机的清洗腔体结构， 以在相同的清洗时间下，降低使用的射频电源的功率。 [0006] 本实用新型提供了一种等离子清洗机的清洗腔体结构，包括：腔体下盖，所述下盖 腔体的 底部设有第一玻璃板 ，所述第一玻璃板的四个 角设置有绝缘座 ，所述绝缘座的 上 侧 设有第二玻璃板，所述第二玻璃板的四个角支撑于所述绝缘座上；电极框架，所述电极框架 安装于所述第二玻璃板上，电极框架通过导线与射频电源的阳极相连；腔体上盖，所述腔体 上盖盖合在所述腔体下盖上，腔体上盖与腔体下盖之间形成密封腔体；以及驱动机构，所述 驱动机构用于驱动所述腔体上盖与腔体下盖打开或盖合。 [0007] 进一步地，还包括陶瓷管，所述第一玻璃板上设有第一通孔，第二玻璃板上设有第 二通孔，所述陶瓷管穿插于第一通孔和第二通孔内，所述导线经陶瓷管穿入密封腔体。 [0008] 进一步地，所述第一玻璃板和第二玻璃板之间设置有第三玻璃板，所述第三玻璃 板分 别与第一玻璃板 和第二玻璃板贴合 ，第三玻璃板上设有第三通孔 ，所述陶瓷管穿过第 三通孔。 [0009] 进一步地，所述腔体下盖后部的下部连接有挡板，所述驱动机构包括至少一个伸 缩推杆 ，所述 伸缩推杆的 下端固定于所述 挡板的 外 侧 ，伸缩推杆的 上端固定连接于所述腔

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