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  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现拓荆科技（688072）新取得一项发明专利授权，专利名为“一种改善洁净腔室内环境的方法”，专利申请号为CN7.4，授权日为2024年7月16日。

  专利摘要：本发明供给了一种改善洁净腔室内环境的方法，该方法将等离子体反响后的腔室清洗分为两步进行，包含低温清洗和升温过程中清洗；应用于大于400℃的高温反响腔室。本发明经过调整反响衬底与顶部气板之间的间隔，合作温度的改变，完成在不影响clean功率的一起下降对腔体部件的损伤，添加惯例运用的寿数。该方法可以完成现场校准，具有十分杰出的出产经济价值。

  今年以来拓荆科技新取得专利授权17个，较去年同期减少了58.54%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

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