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  金融界2024年12月7日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司获得一项名为“一种无晶圆等离子腔室的整理洗刷办法”的专利，授权公告号 CN 115274388 B，请求日期为2021年4月。

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