产品介绍

  射频(缩写为RF)，又称无线GHz这个范围内的震动频率，相当于无线电波的频率，以及携带着无线电信号的交流电的频率。而射频电源，是能够发生固定频率的正弦波电压、频率在射频范围内、具有必定功率的电源，运用范畴宽广，商场运用需求巨大。

  作为等离子体的配套电源，射频电源是由射频功率源、阻抗匹配器、阻抗功率计一起组成，商场最早是在上世纪八十年晚期开展起步的，通过长期的开展，现阶段我国射频电源在制作工艺上、产品质量上有着很大进步，首要运用在于射频溅射、PECVD化学气相堆积、反应离子刻蚀等设备中，涉及到医疗、美容、无线通信、半导体工艺、消毒设备等多个范畴。

  依据新思界工业研讨中心发布的《2021-2025年射频电源职业深度商场调查与研讨及出资战略主张陈述》显现，近年来，跟着下流商场的加快速度进行开展，特别是国内半导体、光伏设备职业规划的扩展，使得商场对射频电源的运用需求也随之添加，从而推进整个射频电源商场规划的增加。

  就现在来看，我国射频电源技能与欧美部分发达国家比较仍存在着很大的距离，产品品种类型也相对单一，且出产公司数较少，运用的射频电源功率放大器多为传统的电子管，国外中心出产技能没有彻底把握。因而，在未来，我国本乡射频电源出产企业要追上并逾越国外同类企业，还需要在出产技能和产品研制立异方面下功夫。

  上海伊恩埃半导体科技股份有限公司是国内专业研制、出产、拼装半导体等级射频发生器(RF Generator)、射频匹配器( RF Match)、射频组件的头部企业。坐落于上海松江经济技能开发区，拥8000多㎡独立研制出产中心，通过不懈努力，获得2022我国互联网开展创投大赛一等奖。

  研制团队2000年建立，23年间，上海伊恩埃半导体科技股份有限公司致力于“射频电源国产化”，现在已获得具有40多项国家发明专利和PCT世界专利。

  精研技能开展，打磨出产规划，上海伊恩埃半导体科技股份有限公司完成了研制、出产、工程彼此赋能、协同开展，在业界具有“专业化水平高、输出稳定性很高”的赞誉，是半导体设备制作企业的中心零部件供货商。

  上海伊恩埃半导体科技股份有限公司射频电源采用了先进的高效率高稳定性的射频技能。这种技能能有效地削减功率耗费，进步设备的寿数。

  可作为射频驱动等离子体体系的电源，运用目标包含ETCH刻蚀工艺、IMP离子注入、CVD化学相堆积、ASHER等离子去胶机、PVD物理气相堆积等。

  未来，上海伊恩埃半导体科技股份有限公司也将持续在半导体职业发挥及其重要的效果，为我国半导体工业的开展注入新的动力。