在相关政策支持及设备商自身努力的双重推动下，企业相关业务营收也快速地增长，半导体设备国产化率也在逐步的提升， CINNO Research统计数据表明，2022年中国大陆设备商半导体装备业务营收排名TOP10合计近300亿元，同比增长56%，业绩十分亮眼。

  入围2022年中国大陆上市公司半导体设备业务营收排名的TOP10与2021年TOP10设备商相同，没有新增。具体来看，北方华创作为国内半导体设备商有突出贡献的公司，2022年半导体营业收入120亿，稳居排名第一，中微公司排名第二，盛美上海排名第三，长川科技排名第四，同2021年排名。2022年完成上市的拓荆科技以全年16.9亿元的营收由2021年的排名第九跃进至第五，同样2022年上市的华海清科以全年16.5亿元的营收由2021年的排名第八前进至第六，两家公司全年营收同比增长均超过100%。

  2022年中国大陆上市公司半导体设备业务营收排名，来源：CINNO Research 注：上述排名包含集成电路前道制造、后道封测及LED等功率器件设备商，不含光伏行业设备商

  中国大陆的龙头半导体设备商，基本的产品为电子工艺装备和电子元器件，是国内主流高端电子工艺装备供应商，也是重要的高精密电子元器件生产基地。公司电子工艺装备最重要的包含半导体装备、真空装备和新能源锂电设备，电子元器件最重要的包含电阻、电容、晶体器件、模块电源、微波组件等。2022年半导体装备相关营收120.8亿元，同比增长52%，稳居中国大陆榜首位置。

  其中在刻蚀装备方面，面向12吋逻辑、存储、功率、先进封装等客户，已完成数百道工艺的量产验证，ICP刻蚀产品出货累计超过2000腔；使用高密度、低损伤设计的12吋等离子去胶机已在多家客户完成工艺验证并量产；金属刻蚀设备凭借稳定的量产性能成为国内主流客户的优选机台；迭代升级的高深宽比TSV刻蚀设备，以其优异的性能通过客户端工艺验证，支撑Chiplet工艺应用；应用于提升芯片良率的12吋CCP晶边刻蚀机已进入多家生产线验证；精准针对客户的真实需求，发布了双频耦合CCP介质刻蚀机，实现了在硅刻蚀、金属刻蚀、介质刻蚀工艺的全覆盖。面向6/8吋兼容的多晶硅刻蚀、金属刻蚀、介质刻蚀和SiC、GaN等化合物刻蚀设备系列，为各类半导体器件提供刻蚀工艺全面解决方案。

  中微公司专注于半导体刻蚀设备和沉积设备，2022年半导体装备相关营收47.4亿元，同比增长52%。

  近日，中微半导体设备推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。这是中微公司深耕高端微观加工设施多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破，也是实现公司业务多元化增长的新动能。

  盛美上海以半导体清理洗涤设施和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备，2022年半导体装备相关营收27.6亿元，同比增长78%。

  长川科技主营半导体测试设备，包括测试机、分选机、探针台等，2022年半导体装备相关营收25.8亿元，同比增长70%。

  拓荆科技聚焦于半导体薄膜沉积设备，于2022年4月上市，2022年半导体装备相关营收16.9亿元，同比增长122%。

  华海清科主营化学机械抛光设备，适用于晶圆制造及先进封装的关键制程，于2022年6月上市，2022年半导体装备相关营收16.5亿元，同比增长105%。

  芯源微主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，包括涂胶显影、刻蚀、清理洗涤设施等，2022年半导体装备相关营收13.6亿元，同比增长67%。

  新益昌主营业务为封装用固晶机、电容老化测试设备等，其在中国大陆LED固晶机领域有领头羊，2022年半导体装备相关营收11.3亿元，同比增长1%。

  华峰测控主营业务为半导体自动化检测系统的研发、生产和销售，产品大多数都用在模拟、数模混合、分立器件和功率模块等集成电路的测试，2022年半导体装备相关业务营收10.7亿元，同比增长22%。

  至纯科技主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等，2022年半导体装备相关业务营收7.9亿元，同比增长11%。