产品介绍

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现芯联集成（688469）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“维护环及等离子体处理设备”，专利申请号为CN2.6，授权日为2024年4月16日。

  专利摘要：本实用新型触及一种维护环及等离子体处理设备，等离子体处理设备包含处理腔室，设于处理腔室内且固定晶圆的吸盘，以及维护环，维护环的内径小于吸盘的直径，以使维护环的中空环状主体盘绕吸盘设置，维护环的内径小于晶圆的直径，以使中空环状主体在晶圆的底部维护吸盘，中空环状主体具有相对的上外表和下外表，上外表包含平面和坐落平面的外周侧且向下外表方向歪斜的斜面，维护环还包含多个定位凸台，多个定位凸台设于上外表上，并沿中空环状主体的周向距离设置，多个定位凸台用于在晶圆的旁边面限位晶圆。本实用新型可削减反响副产物在维护环和吸盘之间的堆积，从而进步设备正常运转功率，提高产品良率，并削减清洁频率，降低成本。

  今年以来芯联集成新取得专利授权21个，较去年同期增加了5%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

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