产品介绍

  、射频电源部分：射频源，射频调理，功率放大，功率调理，功率输出，输出维护，等离子电极，温度维护。

  2、体系操控部分：数字自控，I/O操控，真空度A/D检测，脉宽份额D/A调理，参数回忆，时钟设定。

  三和波达等离子清洗机、关于小型等离子清洗机而言，因为射频功率较小，其射频电源与操控都组装在一个机箱内，一是削减空间的占用，二是便于操作和放置，一起与大型清洗机相比较，从检测功用与操控功用的设置上尽量简练。图1为小型机外形。

  深圳小型等离子清洗机的体系在满意设定真空度的条件下，发动射频源作业，发生40KHz的射频脉冲，通过功率放大送到输出级，输出级的效果有三点：一是阻隔，二是升压，三是匹配，使有足够能量的射频脉冲去激起高压极板发生等离子。

  功率巨细的操控与调理可在体系中进行数字设置，也可通过手动调理。实质上功率的调理是由改动射频脉冲宽度来完成的，图4和图5两个射频脉冲坐标示意图很形象的说明晰功率调理的原理。

  这儿所说的抱负情况下的射频脉冲输出，是不考虑器材和磁性材料的损耗而表明的，实践的射频脉冲波形都是有必定畸变的，但当畸变程度过大时，就会使输出的有用功率大幅度的下降，不只反常发生等离子，并且还会焚毁设备。别的过多谐波脉冲重量也会形成射频功率的下降，使设备不能正常作业，乃至焚毁。因而等离子清洗机对射频电源的技能方面的要求是很高的