产品介绍

  1.一种应用于真空等离子清洗机的电极，其包括电极框(1)，所述电极框(1)设置有安

  装座(11)，其特征是：所述电极框(1)设有电极棒固定块(12)，所述电极棒固定块(12)设

  有电极棒固定孔(13)，所述电极框(1)安装有冷却铝管(2)，所述冷却铝管(2)的两端设有分

  2.根据权利要求1所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征是：所述冷却

  铝管(2)为弯曲状，所述电极框(1)上阵列安装有若干个相互连接的冷却铝管(2)。

  3.根据权利要求2所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征是：两个所述

  4.根据权利要求3所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征是：所述接水

  5.根据权利要求4所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征是：所述电极

  6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征在

  7.根据权利要求6所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征是：所述固定

  或郭受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体和发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动时

  轰击被处理物体表面的油污、表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质，达到去除产

  品的表面处理、清洗和刻蚀。在现有的技术中，真空等离子清洗机内的电极板状结构的铝

  板，并通过在铝板钻深孔形成冷却水管路，因此导致铝板在钻孔时产生大量的废料和容易

  时减少铝材的损耗、避免电极内的冷却水管路出现漏水和均匀地对电极进行冷却。

  安装座，电极框设有电极棒固定块，电极棒固定块设有电极棒固定孔，电极框安装有作为电

  定的真空度，真空等离子清洗机的的高压电源与电极电性连接，使位于反应腔室内的两个

  更佳地，冷却铝管为弯曲状，电极框上阵列安装有若干个相互连接的冷却铝管；根

  更佳地，两个冷却铝管的连接端设置有连接套；根据所述技术方案，以使本电极组

  可选的，接水口旁为弯曲部；根据所述技术方案，使本实用新型根据不一样的尺寸电极

  更佳地，电极框设有与冷却铝管配合的镂空孔；根据所述技术方案，以提冷却铝管

  可选的，电极框设有放置冷却铝管配合的固定槽；根据所述技术方案，以更好地固

  可选的，固定槽设置有固定压板；根据所述技术方案，以便于对冷却铝管安装和拆

  1、本实用新型通过冷却铝管作为电极导体，以实现均匀地对电极进行冷却和提高

  2、解决现有板状结构的电极在钻孔时有可能会出现钻偏，导致电极有可能会出现漏，同时

  现有板状结构的电极在钻孔的方式形成冷却管路，因此导致电极中的冷却管路分布不均

  1、电极框；11、安装座；12、电极棒固定块；13、电极棒固定孔；14、镂空孔；15、固定

  槽；16、固定压板；2、冷却铝管；21、接水口；22、连接套；  23、弯曲部。

  式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非

  要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免

  如图1所示，本实用新型提供一种应用于真空等离子清洗机的电极，所述电极包括

  电极框1和冷却铝管2。电极框1设置有安装座11，电极框1设有电极棒固定块12，电极棒固定

  块12设有电极棒固定孔13；电极框1的中心设有镂空孔14，电极框1上设有用于放置冷却铝

  冷却铝管2为弯曲状，若干个相互连接的冷却铝管2阵列安装于电极框1  上，相邻

  的两个冷却铝管2通过连接套22的连接，冷却铝管2与固定槽15配合，冷却铝管2的两端设有

  分别设有接水口21；接水口21旁可根据电极框1的尺寸设有弯曲部23，以使若干个冷却铝管

  2分布安装于电极框1上时，位于电极框1最左侧或最右侧的更好地与冷却液装置连接。

  冷却铝管2可选择通过焊接方式固定于电极框1上，或可选择通过在固定槽15设置

  真空等离子清洗机包括设置有反应腔室、真空泵组、高压电源、用于提供冷却液的

  冷却装置，真空泵组与反应腔室连接，冷却装置与冷却铝管2连接，电极棒固定孔13放置有

  与高压电源连接的电极棒，电极框1通过安装座11固定于反应腔室内，反应腔室内至少放置

  蚀刻时，产品放置于反应腔室内，真空泵组对反应腔抽气至一定的真空度，高压电

  源启动时，位于反应腔室内的两个形成电磁场，使反应腔内的分子间距及分子或郭受磁场

  作用，发生碰撞而形成等离子体和发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动时轰击被处理

  物体表面的油污、表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质，达到产品的表面处理、

  新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情

  况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围以内。此外，本

  实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等