产品介绍

  1、在半导体引线框架等片状产品封装中，借助等离子清洗机的应用，能大大的提升芯片与环氧树脂塑料包装材料之间的焊接质量和粘结强度。

  2、目前，市场上用于处理半导体引线框架等产品的真空等离子清洗机，使用的射频电源作为等离子电源，射频电源的频率为13.56mhz，然而射频电源能力性质决定其只能进行活化产品表面处理，不可以进行产品的还原反应，不能去除产品表面氧化物和解决产品处理后变色问题，以此来降低了半导体引线框架封装的牢固性，因此我们应该提出一种适用于片状产品微波等离子清洗系统来提高半导体引线框架封装的牢固性能。

  1、本实用新型的目的是提供一种适用片状产品微波等离子清洗系统，采用微波等离子体对工件表明上进行清洗，可以提高环氧树脂的粘附性，去除氧化物以利于焊料回流，提高工件封装的牢固性，减少剥离现象的发生，以解决背景技术中提出的问题。

  2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用片状产品微波等离子清洗系统，包括机架，所述机架上依次安装有可自动推料的供料组件、对工件表面等离子清洗的等离子处理组件和可自动收料的收料组件；

  3、所述等离子处理组件包括上真空腔体、下真空腔体、微波等离子电源和真空泵，所述下真空腔体安装在机架的上表面，所述上真空腔体通过升降机构与机架连接，且所述上真空腔于下真空腔体的正上方，所述上真空腔体与下真空腔体盖合时可形成完整密封的真空腔，所述真空泵和微波等离子电源均安装在机架的内部，所述上真空腔体和下真空腔体均通过微波管路与真空泵连通，所述微波等离子电源通过微波传输机构将微波信号传输至线、优选的，所述微波传输机构包括馈电网络及辐射单元组件、三销钉组件和环形器组件，所述环形器组件的一端与三销钉组件的一端连通，所述环形器组件的另一端与馈电网络及辐射单元组件的一端连接，所述馈电网络及辐射单元组件的另一端与微波等离子电源连接。

  5、优选的，所述微波管路和一侧设置有降温风机，所述降温风机通过螺栓安装在机架的内部。

  6、优选的，所述供料组件包括推片机构、供料流道、供料工位和推料机械手，所述供料流道位于供料工位的一端，所述推片机构安装在供料工位的另一端，所述推料机械手安装在供料流道远离供料工位的一端，且所述供料流道的另一端与下真空腔体的一侧抵触。

  7、优选的，所述收料组件包括收料工位、出料流道和后端机械手，所述出料流道的一端与下真空腔体的另一侧抵触，所述出料流道的另一端与收料工位的一端抵触，所述后端机械手安装在出料流道的一端。

  8、优选的，所述出料流道和供料流道之间采用传输带连接，所述传输带通过电机驱动。

  10、本实用新型通过微波等离子电源、真空泵、上真空腔体和下真空腔体的配合，在对工件清洗时，上真空腔体通过升降机构与下真空腔体盖合形成完整密闭的真空腔，通过微波等离子电源产生微波，并通过微波传输机构将微波信号传输至真空腔的内部，并与真空腔内的工艺气体产生等离子体，可实现对半导体引线框架进行等离子处理需求，采用微波等离子体对工件表面进行清理洗涤，能大大的提升环氧树脂的粘附性，去除氧化物以利于焊料回流，提高工件封装的牢固性，减少剥离现象的发生，同时还降低了人工成本，提高了生产效率提高，使处理清洗效果更好。

  1.一种适用片状产品微波等离子清洗系统，包括机架(4)，其特征在于：所述机架(4)上依次安装有可自动推料的供料组件(1)、对工件表面等离子清洗的等离子处理组件(2)和可自动收料的收料组件(3)；

  2.根据权利要求1所述的一种适用片状产品微波等离子清洗系统，其特征在于：所述微波传输机构(203)包括馈电网络及辐射单元组件、三销钉组件和环形器组件，所述环形器组件的一端与三销钉组件的一端连通，所述环形器组件的另一端与馈电网络及辐射单元组件的一端连接，所述馈电网络及辐射单元组件的另一端与微波等离子电源连接。

  3.根据权利要求2所述的一种适用片状产品微波等离子清洗系统，其特征在于：所述微波管路和一侧设置有降温风机，所述降温风机通过螺栓安装在机架(4)的内部。

  4.根据权利要求1所述的一种适用片状产品微波等离子清洗系统，其特征在于：所述供料组件(1)包括推片机构(101)、供料流道(102)、供料工位(104)和推料机械手(103)，所述供料流道(102)位于供料工位(104)的一端，所述推片机构(101)安装在供料工位(104)的另一端，所述推料机械手(103)安装在供料流道(102)远离供料工位(104)的一端，且所述供料流道(102)的另一端与下线所述的一种适用片状产品微波等离子清洗系统，其特征在于：所述收料组件(3)包括收料工位(301)、出料流道(302)和后端机械手(303)，所述出料流道(302)的一端与下线)的另一侧抵触，所述出料流道(302)的另一端与收料工位(301)的一端抵触，所述后端机械手(303)安装在出料流道(302)的一端。

  6.根据权利要求5所述的一种适用片状产品微波等离子清洗系统，其特征在于：所述出料流道(302)和供料流道(102)之间采用传输带连接，所述传输带通过电机驱动。

  本技术公开了一种适用片状产品微波等离子清洗系统，包括机架，所述机架上依次安装有可自动推料的供料组件、对工件表面等离子清洗的等离子处理组件和可自动收料的收料组件，本技术通过微波等离子电源、真空泵、上真空腔体和下真空腔体的配合，在对工件清洗时，上真空腔体通过升降机构与下真空腔体盖合形成完整密闭的真空腔，通过微波等离子电源产生微波，并通过微波传输机构将微波信号传输至真空腔的内部，并与真空腔内的工艺气体产生等离子体，可实现对半导体引线框架进行等离子处理需求，采用微波等离子体对工件表明上进行清洗，可以提高环氧树脂的粘附性，去除氧化物以利于焊料回流，提高工件封装的牢固性。

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  1.环境污染控制：环境污染物的高级氧化去除及转化机制 2.环境计算化学：典型污染物的环境相关物性参数预测及构效关系研究

  主要从事海洋生物医药及海洋污染物的微生物修复研究。 （1）海洋微生物中筛选免疫活性物质，用于抗氧化保健品以及抗肿瘤药物的开发。 （2）开展石油烃降解菌的基因组学、转录组以及代谢组和关键酶基因研究，分析其降解石油烃途径。利用分子生物学和生物信息学技术开展与海洋环境污染治理和修复相关的微生物分子数据