新创电子获得等离子蚀刻清洗槽专利进步晶圆的清洗功率

时间: 2025-08-13 23:24:25 |   作者: 大气常压等离子清洗机

产品介绍

  金融界2025年7月30日音讯,国家知识产权局信息数据显现,新创电子技能(东莞)有限公司获得一项名为“一种等离子蚀刻清洗槽”的专利,授权公告号CN223167443U,请求日期为2024年08月。

  专利摘要显现,本实用新型公开了一种等离子蚀刻清洗槽,触及等离子蚀刻技能领域,包含槽体,所述槽体内侧设置有旋转架,所述旋转架上侧设置有压紧板,所述旋转架和所述压紧板上均设置有晶圆卡槽,所述旋转架一端设置有驱动电机,所述槽体内旁边面上设置有限位滑槽,所述限位滑槽内设置有滑动杆,所述滑动杆两头穿设有丝杆,所述丝杆一端设置有伺服电机,所述滑动杆下旁边面设置有清洗喷头。本实用新型经过设置的旋转架、压紧板、驱动电机、滑动杆、丝杆、清洗喷头、限位滑槽和伺服电机,晶圆固定在旋转架上,并经过压紧板进行压紧固定,驱动电机能够带动旋转架和晶圆旋转,伺服电机带动丝杆滚动,从而时滑动杆沿着限位滑槽移动,滑动杆下侧的清洗喷头能够将清洗液喷出,从而对旋转的晶圆进行快速清洗,进步晶圆的清洗功率。

  天眼查资料显现,新创电子技能(东莞)有限公司,成立于2020年,坐落东莞市,是一家以从事专业方面技能服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。经过天眼查大数据分析,新创电子技能(东莞)有限公司专利信息12条,此外企业还具有行政许可8个。