产品介绍

  中频：其频率规模为25~40kHz。中频等离子清洗机一般用于较大容积的真空腔体。中频电源的特点是等离子能量高、效率高、安稳度佳、本钱较低且长寿命抗损害。不过，中频电源直接输出到电极板的电压较高，这有几率会使工艺处理的温度也较高。

  射频：其频率为13.56MHz。射频等离子清洗机运用的射频电源，特点是等离子能量低，可是等离子密度高，作用均匀，本钱稍高。射频等离子体产生的反响既有物理反响又有化学反响。

  微波：其频率为2.45GHz。微波等离子体的自偏压很低，只要几十伏，且其产生的反响主要为化学反响。

  以上三种频率的等离子清洗机各有特点，可根据详细的清洗需求和资料特性做出合理的挑选。